筱曉光子 640B壓力控制器
640B和641B壓力控制器是獨立、緊湊的閉環(huán)電子壓力控制系統(tǒng)。每個都包含一個電容式壓力計、常閉比例控制閥和閉環(huán)控制電子設備。640B控制壓力；641控制表壓（相對于環(huán)境大氣壓的壓力）。兩種傳感器均為Baratron®電容式壓力計，滿標度壓力范圍為100 psi至10 Torr。Baratron電容式壓力計——以其讀數(shù)精度、穩(wěn)定性和分辨率的百分比而聞名——在較低的壓力和較寬的動態(tài)范圍內(nèi)提供比應變更精確的測量 儀表傳感器。此外，Baratron電容壓力計沒有硅油填充，這會導致滯后，并會減慢控制器的時間響應。 與標準MFC在電氣上類似，640B/641B僅在200 mA時由±15 VDC供電，允許與標準電源/顯示電子設備一起使用。壓力輸出和輸入控制信號為線性0-5或0-10 VDC。640/641中包含兩個觸發(fā)點，帶有LED狀態(tài)指示燈，用作簡單的開/關流程限制。 在MKS的終測試期間，640/641控制回路調(diào)諧參數(shù)是針對典型安裝條件預設的，但可針對不同條件和佳性能進行現(xiàn)場調(diào)整。比例和積分項調(diào)整是簡單的旋轉(zhuǎn)開關，而不是電位計，以使OEM或具有多個控制器的用戶能夠?qū)⑺醒b置預設為相同的控制回路參數(shù)。
產(chǎn)品特點
控制器滿標度范圍低至10 Torr，用于低壓過程
提供彈性體和所有金屬密封版本
執(zhí)行閉環(huán)電子壓力控制
與緊湊的3“MFC型封裝外形一致
降低總體系統(tǒng)成本，同時節(jié)省寶貴的機架空間
使用經(jīng)驗證的Baratron®電容式壓力計技術，在廣泛的壓力范圍內(nèi)獲得精確、可重復的壓力控制/測量
主要優(yōu)點
一體式Baratron電容壓力計提供準確、可靠和寬范圍
可用于上游或下游控制器應用
控制壓力或表壓
用于過程限制控制的兩個報警觸發(fā)點
技術參數(shù)
| Physical | |
| 壓力傳感器類型 640B壓力器 641B集成儀表壓力控制器 |
• 640B • 641B |
| Pressure Ranges (Full Scales) 壓力范圍（滿刻度） | 10, 100, 1000 mmHg (Torr); 60, 100 psi |
| Transducer Overpressure Limit 傳感器過壓限值 | 45 psia or 2x Full Scale, whichever is greater |
| Orifice Full Scale Ranges 孔板滿標度范圍 | 50, 200, 1000, 5000, 10000, 20000, 50000 sccm (nominal Full Scale flow rates for N2 with 15 psig on inlet and atm. on outlet) |
| Maximum Differential Pressure (consistent with transducer overpressure limit) 大壓差（與傳感器過壓限值一致） | • 150 psi for 50 to 10,000 sccm orifices • 30 psi for 20,000 and 50,000 sccm orifices |
| Control Mode 控制模式 | Downstream standard; Upstream optional |
| Performance 表現(xiàn) | |
| Pressure Reading 壓力讀數(shù)精度 Accuracy Temp. Coefficients臨時系數(shù)
Time Response時間響應
| • ±0.5% of Reading (includes linearity, hysteresis, and repeatability) • Zero: ±0.02% of Full Scale/°C • Span: ±0.04% of Reading/°C • <100 msec |
| Pressure Control 壓力控制裝置
Range 范圍 Accuracy 精確 Time Response 時間響應 |
• >2 to 99% of Full Scale • ±0.2% of Full Scale • <1.0 sec (excluding system time constant) |
| Environmental 環(huán)境方面 | |
| Operating Temperature | 0° to 50°C (32° to 122°F) |
| Storage Temperature | -20° to 80°C (-4° to 176°F) |
| Electrical與電有關 | |
| Power Required | ±15 VDC ±5%, 200 mA max. |
| Input/Output Signals 輸入/輸出信號 | 0-5 VDC standard; 0-10 VDC optional |
| Connector連接器 | 15-pin male type “D” |
| Cable Length電纜長度 | 100 ft. (30 m) max. |
| RFI Sensitivity RFI靈敏度 |
SAMA 33.1, 1-abc:<0.2% of Full Scale |
| Trip Points Rated Adjustable Hysteresis Indicators 跳閘點 額定可調(diào)滯后指示器 | • Two open-collector transistors • 250 mA @ 30 VDC • 1 to 99% of Full Scale • 3% of Full Scale • Green LEDs on when actuated |
| Compliance 合規(guī)性 | CE |
| Mechanical | |
| Materials Exposed to Gas 接觸氣體的材料
Standard 標準 Optional可選擇的 |
• 316L S.S., 316L/VAR S.S., Inconel, Nickel • Viton®, Kalrez®, Kel-F® |
| Leak Integrity 泄漏完整性 External外部的 Internal1,2 (through closed valve) 內(nèi)部1,2（通過關閉的閥門） | • <10-9 scc/sec He • Elastomer valve:<10-4 scc/sec He • Metal valve:<1% of Full Scale. (N2 @ 1 atm. ∆P) • Kel-F valve:<0.5% of Full Scale (N2 @ 1 atm. ∆P) |
| Fittings配件 | Swagelok® 4 VCR®, 8 VCR, or 1/4” Swagelok, Surface Mount |
| Dimensions尺寸 | 1.5'' (38.1 mm) x 4.88'' (124 mm) (4 VCR) x 5.50'' (140 mm) max. |
| Weight | 2.54 lbs. (1.15 kg) |
注意：
1 640/641控制閥不應用于強制關閉。如果需要強制關閉，應安裝單獨的閥門。選擇外部切斷閥的位置時，應考慮內(nèi)部傳感器的大壓力額定值，以及隨著時間的推移，通過內(nèi)部閥的泄漏可能會積聚并導致氣體突然激增的可能性。640系列控制器需要流量才能運行，在“死區(qū)”（零流量）應用中無法控制壓力。
2當設備控制其出口壓力時，“通過關閉閥”的泄漏規(guī)范適用，這是標準的竣工配置。如果設備配置為控制其入口壓力，泄漏率將更高。請咨詢應用工程部，以確定是否需要特殊設置和測試。
尺寸圖-注：除非另有規(guī)定，否則尺寸為標稱值，單位為英寸（參考mm）。
更新時間：2023/5/24 17:35:26
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