Mitutoyo FS70 半導(dǎo)體檢測顯微鏡
(半導(dǎo)體觀測顯微鏡 20X到8000X工作距離6-34mm)

日本三豐Mitutoyo FS70 半導(dǎo)體檢測顯微鏡,半導(dǎo)體觀測顯微鏡 ,工作距離足夠長,倍數(shù)高,能夠應(yīng)用在各種檢測場合和質(zhì)量確認方面。搭配Mitutoyo的全系列可見光遠場校正鏡頭,顯微鏡系統(tǒng)的放大倍率可涵蓋20X到8000X,工作距離范圍從6到34mm。對焦目鏡可安裝直徑為25mm的測量分劃板來測量。50/50三端輸出顯微鏡的粗調(diào)范圍為50mm,精確調(diào)整分辨率可達0.1mm,并可同時進行視頻輸出和雙目觀測。
FS70系列半導(dǎo)體檢測顯微鏡單元是一款帶目鏡觀察的小巧顯微鏡單元。適于檢測金屬表面、半導(dǎo)體、液晶基板、樹脂等??蓱?yīng)用于切割、修整、校正、 給半導(dǎo)體電路做標記/ 薄膜(絕緣膜) 清潔與加工、液晶彩色濾光器的修復(fù)(校正錯誤)。還可用作光學(xué)觀察剖面圖以便探針分析半導(dǎo)體故障。
特點
● 采用Mitutoyo遠場校正鏡頭
● 三端輸出設(shè)計可輕松接收視頻
● 轉(zhuǎn)盤可接多四個物鏡
應(yīng)用:
切割、修整、校正、 給半導(dǎo)體電路做標記
薄膜(絕緣膜) 清潔與加工、液晶彩色濾光器的修復(fù)(校正錯誤)。
還可用作光學(xué)觀察剖面圖以便探針分析半導(dǎo)體故障。
• 可用于紅外光學(xué)系統(tǒng)*。
應(yīng)用:晶體硅的內(nèi)部觀察;紅外光譜特征分析。
* 需要紅外光源和紅外攝像機。
• 支持BF (亮視場)、DF (暗視場)、偏振光及微分干涉對比(DIC) 的型號(產(chǎn)品) 可用。
• 帶有孔徑光闌的柯勒照明是表面照明光學(xué)系統(tǒng)上的標準配件。
• 內(nèi)傾轉(zhuǎn)塔和超長工作距離的物鏡確保了顯微鏡下的高可操作性。
技術(shù)參數(shù)
型號 | FS70 | FS70-TH | FS70Z | FS70Z-TH | FS70L | FS70L-TH | FS70L4 | FS70L4-TH |
型號 | FS70S | FS70-THS | FS70ZS | FS70Z-THS | FS70LS | FS70L-THS | FS70L4S | FS70L4-THS |
聚焦調(diào)節(jié) | 使用同心粗調(diào)(3.8mm/rev)和微調(diào)(0.1mm/rev)對焦輪(右/左)實現(xiàn)50mm行程范圍 | |||||||
圖像 | 正像 | |||||||
物鏡筒鏡 | 西登托夫型, 調(diào)節(jié)范圍: 51 - 76mm | |||||||
視場數(shù) | 24mm | |||||||
俯角 | - | 0°-20° | - | 0°-20° | - | 0°-20° | - | 0°-20° |
透過率 | 固定(目 鏡/TV= 50%/50%) | 可調(diào)型(目 鏡/管徑= 99%/0%: 0%/99%) | 固定(目 鏡/TV= 50%/50%) | 可調(diào)型(目鏡/管徑=99%/0%:0%/99%) | ||||
防護濾光片 | - | 內(nèi)置激光濾光片 | ||||||
管徑鏡頭 | 1x | 1x-2x放大 | 1x | |||||
適用激光 | - | 1064/532/355nm | 532/266nm | |||||
相機安裝端口 | C-mount (適用適配器B選件) | 使用帶TV接口的激光 | C-mount開關(guān) (帶綠色濾光片轉(zhuǎn)換開關(guān)) | |||||
照明系統(tǒng)(選件) | 亮視場反射照明 (科勒照明、帶孔徑光闌) 12V100W亮視場反射照明、無亮度調(diào)節(jié)、光纖長度 | |||||||
物鏡 (用于觀察) | M Plan Apo, M Plan Apo SL, G Plan Apo | |||||||
物鏡(用于激光切割) | - | M/LCD Plan NIR, M/LCD Plan NUV | M Plan UV | |||||
載重 | 14.5kg | 13.6kg | 14.1kg | 13.2kg | 14.2kg | 13.5kg | 13.9kg | 13.1kg |
重量(主機) | 6.1kg | 7.1kg | 6.6kg | 7.5kg | 6.4kg | 7.2kg | 6.7kg | 7.5kg |
燈泡更換 | 標準: 鹵素?zé)襞?nbsp;(12V, 100W) (517181) | |||||||
用于光纖傳導(dǎo)照明裝置 (12V, 100W) (378-700) |
注:鏡體的載重不包括物鏡鏡頭和目鏡的重量。
Mitutoyo FS70 Inspection Microscope | |
Microscope System | |
Mitutoyo FS70 Microscope System (includes #55-999, #56-000, #56-001, #56-002) | #56-003 |
Microscope Head (One Required) | |
Mitutoyo FS70 Microscope Head | #55-999 |
Microscope Stand (One Required) | |
Mitutoyo FS70 Microscope Stand | #56-000 |
Microscope Eyepieces in Pairs (One Required) | |
10X WF Focusing Eyepieces, 24mm Field Dia. | #56-001 |
15X WF Focusing Eyepieces, 16mm Field Dia. | #56-310 |
20X WF Focusing Eyepieces, 12mm Field Dia. | #56-004 |
Microscope Turret (One Required) | |
Manual 4 Position Turret for Mitutoyo FS70 | #56-002 |
Motorized 4 Position Turret for Mitutoyo FS70 | #56-313 |
Microscope Stage (Optional) | |
2" x 2" XY-Axes Positioning Stage | #56-011 |
Accessories and Reticles (Optional) | |
Fiber Optic Light Guide for FS70, 72" Length | #56-008 |
Polarizer Set | #56-009 |
C-Mount Coupler (1X) for Video Adaptation | #56-010 |
90° Crossline, Reticle | #56-005 |
Concentric Circles Reticle, 1.2 - 18mm Dia, 1.2mm Increments | #56-007 |
20mm Line/0.1mm Divisions, Reticle | #56-183 |
5mm Line/0.05mm Divisions, Reticle | #56-184 |
90°/60° Crossline, Reticle | #56-311 |
Stock No. | Objective | WD (mm) | Resolving Power (μm) | 10X Eyepiece #56-001 | 15X Eyepiece #56-310 | 20X Eyepiece #56-004 | |||
Mag. | FOV (mm) | Mag. | FOV (mm) | Mag. | FOV (mm) | ||||
#58-235 | M Plan Apo 1X | 11 | 11 | 10-20X | 24-12 | 15-30X | 16-8 | 20-40X | 12-6 |
#46-142 | M Plan Apo 2X | 34 | 5 | 20-40X | 12-6 | 30-60X | 8-4 | 40-80X | 6-3 |
#46-143 | M Plan Apo 5X | 34 | 2 | 50-100X | 4.8-2.4 | 75-150X | 3.2-1.6 | 100-200X | 2.4-1.2 |
#66-383 | M Plan Apo 7.5X | 35 | 1.3 | 75-150X | 3.2-1.6 | 112.5-225X | 2.13-1.07 | 150-300X | 1.6-0.8 |
#46-144 | M Plan Apo 10X | 33.5 | 1 | 100-200X | 2.4-1.2 | 150-300X | 1.6-0.8 | 200-400X | 1.2-0.6 |
#46-145 | M Plan Apo 20X | 20 | 0.7 | 200-400X | 1.2-0.6 | 300-600X | 0.8-0.4 | 400-800X | 0.6-0.3 |
#46-146 | M Plan Apo 50X | 13 | 0.5 | 500-1000X | 0.48-0.24 | 750-1500X | 0.32-0.16 | 1000-2000X | 0.24-0.12 |
#46-147 | M Plan Apo 100X | 6 | 0.4 | 1000-2000X | 0.24-0.12 | 1500-3000X | 0.16-0.08 | 2000-4000X | 0.12-0.06 |
#46-398 | M Plan Apo 20X SL | 30.5 | 1 | 200-400X | 1.2-0.6 | 300-600X | 0.8-0.4 | 400-800X | 0.6-0.3 |
#46-399 | M Plan Apo 50X SL | 20.5 | 0.7 | 500-1000X | 0.48-0.24 | 750-1500X | 0.32-0.16 | 1000-2000X | 0.24-0.12 |
#46-401 | M Plan Apo 100X SL | 13 | 0.5 | 1000-2000X | 0.24-0.12 | 1500-3000X | 0.16-0.08 | 2000-4000X | 0.12-0.06 |
#34-247 | M Plan Apo 5X HR | 25.5 | 1.3 | 50-100X | 4.8-2.4 | 75-150X | 3.2-1.6 | 100-200X | 2.4-1.2 |
#58-236 | M Plan Apo 10X HR | 15 | 0.6 | 100-200X | 2.4-1.2 | 150-300X | 1.6-0.8 | 200-400X | 1.2-0.6 |
#58-237 | M Plan Apo 50X HR | 5.2 | 0.3 | 500-1000X | 0.48-0.24 | 750-1500X | 0.32-0.16 | 1000-2000X | 0.24-0.12 |
#58-238 | M Plan Apo 100X HR | 1.3 | 0.3 | 1000-2000X | 0.24-0.12 | 1500-3000X | 0.16-0.08 | 2000-4000X | 0.12-0.06 |
更新時間:2023/5/24 17:35:26
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