2inch 超光滑超高反射率(＞99.99%) 反射鏡
環(huán)形激光陀螺儀組件或某些科學(xué)應(yīng)用中的所謂超鏡需要具有低損耗（即吸收和散射）的鍍膜光學(xué)元件。這些反射鏡還具有 R > 99.998% 和總損耗 < 10 ppm 的大反射率。
筱曉使用德國改進(jìn)的 IBS 機(jī)器，能夠在超拋光基材上生產(chǎn)涂層。機(jī)器和環(huán)境的清潔度在用的超凈室中保持，并在此進(jìn)行廣泛的基材預(yù)處理和后處理。
用于檢查程序的測量設(shè)備，例如白光輪廓儀和高分辨率顯微鏡（高達(dá) x 1000）已經(jīng)到位。定制的腔衰蕩設(shè)置允許以多四位小數(shù)的精度確定反射并參考損耗。
位于耶拿的弗勞恩霍夫應(yīng)用光學(xué)和精密工程研究所測量了我們當(dāng)生產(chǎn)的 633 nm 超鏡的總背散射（TSB，如 ISO 13696 中所述），并達(dá)到了 TSB = 1.1 ppm 的值。 < 15 ppm 的典型吸收和剩余透射率合計(jì)相當(dāng)于至少 99.998% 的反射率。對于更長的波長，甚至可以達(dá)到 99.999%，這非常接近 R = 100% 的完美激光鏡。
結(jié)果已通過我們的內(nèi)部腔衰蕩設(shè)置和散射測量得到證實(shí)。對于上述值，使用表面粗糙度 < 1 Å rms 的超拋光基板是必不可少的。用白光輪廓儀檢查它們的質(zhì)量。下面是一些測量值：
| Scatter TSB | Absorption | Reflection CRD | |
| HR 532 nm / 0° | 4.9 ppm1) (int. ARS) | 10.2 ppm 2) | > 99.997% 2) (T~5 ppm) |
| HR 633 nm / 0° | 1.1 ppm 1) | > 99.998% (T~5 ppm) | |
| HR 1064 nm / 0° | (< 1 ppm) 3) | < 2 ppm 4) | > 99.999% (T~5 ppm) |
| HR 2940 nm / 0° | 24 ±12 ppm6) | 99.994% 5) (T=36 ppm) | |
1) Measured at IOF Jena;
2) Measured at LZH;
3) Calculated from surface roughness;
4) Measured at ILT Aachen;
5) measured by customer;
6) 1-R-T
| 材質(zhì) | 紅外熔融石英 Infrasil |
| 形狀 | 圓形 |
| 直徑(Ø) | 50.8(-0.1 mm) |
| 厚度(t) | 9.5 mm (±0.1 mm) |
| 邊緣厚度 | 9.5 mm |
| 平行度 | 5ʹ |
| Guaranteed Roughness | Flatness | Availability | |
| Premium | RMS<0.2 nm*(<2Å) | <λ/20 | Ø12.7-25 mm |
| superpolished | RMS<0.1 nm*(<1Å) | <λ/10 | on request |
* Tested with Zygo NewView 9000 within sample length 3- 1000 um
| 光學(xué)參數(shù) | 正面(S2) | 光學(xué)參數(shù) | 背面(S1) |
| 形狀 | 凹面 | 形狀 | 平面 |
| 曲率半徑 | 1,000 mm (±1 %) | 倒角 | 0.3 mm (±0.1 mm) |
| 倒角 | 0.3 mm (±0.1 mm) | 測試區(qū) Øe | 20 |
| 測試區(qū) Øe | 20 | 曲面容差 | 3/0.2(0.2) [L/10 @546.1nm] |
| 曲面容差 | 3/-(0.2) [L/10 reg. @546.1nm] | 清潔度 | 5/2x0.04; L1x0.004 |
| 清潔度 | 5/2x0.04; L1x0.004 |
我們的測試方案：
測試曲線
AR(0°,1600-1700nm)<0.25%
HR(0°,1600-1700nm)>99.99%, T(0°,1650nm)~0.002% (Low Loss)
定制產(chǎn)品提供參數(shù)示例
型號(hào)列表
| 波長 | 基片材料 | 數(shù)量 | 直徑(英寸) | 曲率 | 反射率 | 入射角 | 光楔 | PN # |
| 2327 | Infrasil 302 | 7 | 0.5" | 1m ROC | > 99.99 % | 0 | None | CRD-126-49-2327 |
| 2004 | Infrasil 302 | 3 | 1.0" | 1m ROC | > 99.99 % | 0 | None | CRD-246-49-2004 |
| 2050 | Infrasil 302 | 1 | 0.5" | 1m ROC | > 99.99 % | 0 | None | CRD-126-49-2050 |
| 1742 | Infrasil 302 | 5 | 0.5" | 1m ROC | > 99.99 % | 0 | None | CRD-126-49-1742 |
| 1650 | Corning 7980 | 5 | 0.5" | 1m ROC | > 99.99 % | 0 | None | CRD-126-49-1650 |
| 1600 | Corning 7980 | 9 | 0.5" | 1m ROC | > 99.99 % | 0 | None | CRD-126-49-1600 |
| 1550 | Corning 7980 | 10 | 0.5" | 1m ROC | >99.99% | 0 | None | CRD-126-49-1550 |
| 1550 | Corning 7980 | 2 | 1.0" | 1m ROC | >99.99% | 0 | None | CRD-246-49-1550 |
| 1512 | Corning 7980 | 2 | 0.5" | 1m ROC | >99.99% | 0 | None | CRD-126-49-1512 |
| 1434 | Infrasil 302 | 1 | 1.0" | 1m ROC | >99.99% | 0 | None | CRD-246-49-1434 |
| 0760 | Corning 7980 | 1 | 0.5" | 1m ROC | > 99.995 % | 0 | None | CRD-126-49-0760 |
| 0760 | Corning 7980 | 4 | 1.0" | 1m ROC | > 99.995 % | 0 | None | CRD-126-49-0760 |
| 1392 | Corning 7980 | 1 | 0.5" | 1m ROC | > 99.99 % | 0 | 30ʹ | CRD-126-49-1392 |
| 0633 | Corning 7980 | 1 | 1.0" | 1m ROC | > 99.99 % | 0 | None | CRD-246-49-0633 |
| 1064 | Corning 7980 | 1 | 1.0" | 1m ROC | > 99.99 % | 0 | None | CRD-246-49-1064 |
更新時(shí)間：2023/5/24 17:35:26
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