超光滑超高反射率(＞99.99%) 反射鏡 1572nm
環(huán)形激光陀螺儀組件或某些科學(xué)應(yīng)用中的所謂超鏡需要具有低損耗（即吸收和散射）的鍍膜光學(xué)元件。這些反射鏡還具有 R > 99.998% 和總損耗 < 10 ppm 的大反射率。
筱曉使用德國(guó)改進(jìn)的 IBS 機(jī)器，能夠在超拋光基材上生產(chǎn)涂層。機(jī)器和環(huán)境的清潔度在用的超凈室中保持，并在此進(jìn)行廣泛的基材預(yù)處理和后處理。
用于檢查程序的測(cè)量設(shè)備，例如白光輪廓儀和高分辨率顯微鏡（高達(dá) x 1000）已經(jīng)到位。定制的腔衰蕩設(shè)置允許以多四位小數(shù)的精度確定反射并參考損耗。
位于耶拿的弗勞恩霍夫應(yīng)用光學(xué)和精密工程研究所測(cè)量了我們當(dāng)生產(chǎn)的 633 nm 超鏡的總背散射（TSB，如 ISO 13696 中所述），并達(dá)到了 TSB = 1.1 ppm 的值。 < 15 ppm 的典型吸收和剩余透射率合計(jì)相當(dāng)于至少 99.998% 的反射率。對(duì)于更長(zhǎng)的波長(zhǎng)，甚至可以達(dá)到 99.999%，這非常接近 R = 100% 的完美激光鏡。
結(jié)果已通過(guò)我們的內(nèi)部腔衰蕩設(shè)置和散射測(cè)量得到證實(shí)。對(duì)于上述值，使用表面粗糙度 < 1 Å rms 的超拋光基板是必不可少的。用白光輪廓儀檢查它們的質(zhì)量。下面是一些測(cè)量值：
| Scatter TSB | Absorption | Reflection CRD | |
| HR 532 nm / 0° | 4.9 ppm1) (int. ARS) | 10.2 ppm 2) | > 99.997% 2) (T~5 ppm) |
| HR 633 nm / 0° | 1.1 ppm 1) | > 99.998% (T~5 ppm) | |
| HR 1064 nm / 0° | (< 1 ppm) 3) | < 2 ppm 4) | > 99.999% (T~5 ppm) |
| HR 2940 nm / 0° | 24 ±12 ppm6) | 99.994% 5) (T=36 ppm) | |
1) Measured at IOF Jena; 2) Measured at LZH; 3) Calculated from surface roughness; 4) Measured at ILT Aachen; 5) measured by customer; 6) 1-R-T
特點(diǎn)
•非常高的反射率(在可見(jiàn)光和近紅外光譜范圍內(nèi)R > 99.99%•R > 99.999% 在1000 – 1600 nm 之間的幾個(gè)波長(zhǎng)處得到證實(shí))
•中心波長(zhǎng)可以定制（起訂量：6片）
•所有用于 CRD 實(shí)驗(yàn)的反射鏡都帶有背面增透膜
•平面和球形彎曲熔融石英基材
•優(yōu)質(zhì)拋光，RMS 粗糙度：≤ 1.5 Å
產(chǎn)品應(yīng)用
● 激光陀螺
●CRD 腔衰蕩系統(tǒng)設(shè)計(jì)
● 光通道診斷
參數(shù)
| 材質(zhì) | 紅外熔融石英 Infrasil |
| 形狀 | 圓形 |
| 直徑(Ø) | 12.7，25.4 mm ,50.8(-0.1 mm) |
| 厚度(t) | 6.35 mm (±0.1 mm) |
| 邊緣厚度 | 6.35 mm |
| 平行度 | 5ʹ |
| Guaranteed Roughness | Flatness | Availability | |
| Premium | RMS<0.2 nm*(<2Å) | <入/20 | Ø12.7-25 mm always 2,000 pcs.on stock (various radii and plane) |
| superpolished | RMS<0.1 nm*(<1Å) | <入/10 | on request |
* Tested with Zygo NewView 9000 within sample length 3- 1000 um
| 光學(xué)參數(shù) | 正面(S2) | 光學(xué)參數(shù) | 背面(S1) |
| 形狀 | 凹面 | 形狀 | 平面 |
| 曲率半徑 | 1,000 mm (±1 %) | 倒角 | 0.3 mm (±0.1 mm) |
| 倒角 | 0.3 mm (±0.1 mm) | 測(cè)試區(qū) Øe | 20 |
| 測(cè)試區(qū) Øe | 20 | 曲面容差 | 3/0.2(0.2) [L/10 @546.1nm] |
| 曲面容差 | 3/-(0.2) [L/10 reg. @546.1nm] | 清潔度 | 5/2x0.04; L1x0.004 |
| 清潔度 | 5/2x0.04; L1x0.004 |
我們的測(cè)試方案：
相關(guān)測(cè)試
圖1測(cè)量波長(zhǎng)范圍 1250 – 1450 nm 的低損耗反射鏡的反射率和透射率光譜 a) 反射率與波長(zhǎng)的關(guān)系b) 透射率與波長(zhǎng)的關(guān)系
表 1：低損耗反射鏡的反射率和透射率值；通過(guò)腔衰蕩光譜測(cè)量的反射率，AOI=0°
直接測(cè)量光學(xué)損失
圖 2：1550 nm 的低損耗反射鏡的反射率、透射率和損耗光譜 a) 針對(duì)高反射率進(jìn)行了優(yōu)化（透射率 ~ 0）b) 設(shè)計(jì)用于 T ≈ S + A
圖 3：a) 用于 UV 的各種低損耗反射鏡的反射光譜 b)用于 VIS-NIR 光譜范圍的各種低損耗反射鏡的反射光譜所有測(cè)量均在第 33-35 頁(yè)所述的 CRD 設(shè)置下進(jìn)行。請(qǐng)注意，這些鏡子是門為相對(duì)較高的透射率而設(shè)計(jì)的。
腔衰蕩時(shí)間測(cè)量和參考數(shù)據(jù)
使用諧振器長(zhǎng)度 L=228mm 測(cè)量的具有 R=99,995% 的 450nm 高反射鏡對(duì)的示例性單指數(shù) CRD 曲線
超光滑633nm激光陀螺光損耗測(cè)試
對(duì)于 IBS 上的低損耗涂層，基材表面顯示的典型散射損耗
內(nèi)部測(cè)試設(shè)備：
在所有空間頻率上始終保持低粗糙度值 具有不同放大倍率的 Premium 基板的示例性粗糙度測(cè)量證明了高質(zhì)量 不管采樣長(zhǎng)度是多少。
定制產(chǎn)品提供參數(shù)示例
訂購(gòu)信息：
CRD- □□□□-☆-▽
□□□□: 尺寸
126: 直徑：12.7X厚度6.35mm
*****
256: 直徑：25.4X厚度6.35mm
508:直徑：50.8X厚度8mm
其他
☆ : 反射率
39:＞ 99.9%
49:＞ 99.99%
▽: Operation Wavelength Range
760:760nm
980: 980nm
1064: 1064nm
1512:1512nm
2000:2000nm
2327:2327nm
更新時(shí)間：2023/5/24 17:35:26
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