原理:兩塊橫向振動(dòng)的壓電晶片被振動(dòng)桿連接起來(lái),振動(dòng)桿根據(jù)共振頻率做出橢圓形的位移 能量轉(zhuǎn)換過(guò)程:step1—電能轉(zhuǎn)換為振動(dòng) step2—振動(dòng)轉(zhuǎn)換為線性運(yùn)動(dòng) 特征 ◆高分辨率:50nm或更小 ◆行程無(wú)限制 ◆物理轉(zhuǎn)換:無(wú)物理轉(zhuǎn)換 ◆寬的動(dòng)態(tài)速率范圍:400mm/s~1um/s ◆更高的運(yùn)動(dòng)和處理時(shí)間:1ms ◆位置的穩(wěn)定性:誤差在毫微米的級(jí)別 ◆簡(jiǎn)潔和緊湊的系統(tǒng)設(shè)計(jì) ◆摩擦部件的耐用性 參數(shù)詳情:
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