測量范圍

X方向

100mm

Z1（傳感器）

20mm

高度

300mm

*小內(nèi)孔

30mm (換小測針可測更小內(nèi)徑)

測量范圍

（粗造度）

X軸

Ra： 0.005 um ~ 16.00 um  

Z1軸

±20um，±40um，±80um

取樣長度L

0.25 ， 0.80 ， 2.50，自動(dòng)

評(píng)定長度

1L~5L（可選，L為取樣長度）

測量行程長度

3L~7L（可選，L為取樣長度）

測量精度

X方向

（L=X軸移動(dòng)導(dǎo)軌距離）

±（1+2L/100）μm

Z方向

（H=Z軸方向測量高度）

±（1.8+3H/100）μm

示值精度（粗造度）

0.001um

示值誤差（粗造度）

≤±7%

傳感器

類型

電感傳感器

分辨率

0.02μm

產(chǎn)地

進(jìn)口

X軸

直線度

0.20μm /60mm

分辨率

0.5μm

產(chǎn)地

進(jìn)口

爬坡角度

上升77度 下降88度

測針

針尖形狀（輪廓）

單切面、錐形

針尖角度（粗糙度）

90度

測量速度（輪廓）

0.02mm至4.0mm/s

速度（粗造度）

*大驅(qū)動(dòng)行程長度

17.5mm / 0.71 inch

*小驅(qū)動(dòng)行程長度

1.3mm / 0.052 inch

測量方式

傳感器移動(dòng)

工作壓力

0.35～0.43Mpa

氣源壓力

0.45～0.80Mpa

氣源流量

≥0.2 m3/min

電源

AC 220V±10%  50Hz

環(huán)境要求

溫度：10～30℃；相對(duì)濕度：＜85%

機(jī)械部分

大理石工作臺(tái)面及主機(jī)儀器架

氣浮導(dǎo)軌系統(tǒng)

方立柱系統(tǒng)

傳感器系統(tǒng)

進(jìn)口光柵尺系統(tǒng)

調(diào)整工作臺(tái)

水平調(diào)整系統(tǒng)

回轉(zhuǎn)及角度調(diào)試系統(tǒng)

平口裝夾系統(tǒng)

校正標(biāo)準(zhǔn)件一套

測針與測桿

Φ2*18mm  斜測針  2根

Φ2*18mm 尖測針  2根

Φ5*120mm 測桿    1根

空氣過濾系統(tǒng)

電器部分

電器控制系統(tǒng)

工業(yè)控制計(jì)算機(jī)

工控主板 NORCO950

工控底板 NORCO PBP-14P4

CPU E5500

金士頓 2G 三代

硬盤SEAGATE 500G

17″普屏液晶

基于win XP系統(tǒng)下MMD測量軟件

HP噴墨打印機(jī)

電腦桌