電子顯微鏡是目前應(yīng)用泛的顯微鏡之一。它可以將非常小的物體放大到2000倍，通過電子顯微鏡可以清楚地觀察到金屬原子的結(jié)構(gòu)，甚至半導(dǎo)體原子的整體排列。電子顯微鏡是一種非常神奇的儀器，那么電子顯微鏡的結(jié)構(gòu)是什么呢？下面小編就給大家介紹一下。

電子顯微鏡結(jié)構(gòu)：

電子顯微鏡由鏡筒、真空裝置和電源柜組成。

鏡筒主要由電子源、電子透鏡、樣品架、熒光屏和探測器組成，通常自上而下組裝成柱體。

電子透鏡用于聚焦電子，是電子顯微鏡鏡筒中最重要的組成部分。一般使用磁透鏡，有時使用靜電透鏡。它利用對稱于鏡筒軸的空間電場或磁場將電子軌跡彎曲到軸線上形成聚焦，與光學(xué)顯微鏡中的光學(xué)透鏡(凸透鏡)使光束聚焦相同，因此被稱為電子透鏡。光學(xué)透鏡的焦點是固定的，電子透鏡的焦點是可以調(diào)節(jié)的，所以電子顯微鏡沒有光學(xué)顯微鏡那樣可移動的透鏡系統(tǒng)。

現(xiàn)代電子顯微鏡大多采用電磁透鏡，通過帶極靴的線圈產(chǎn)生的強磁場聚焦電子。電子源由釋放自由電子的陰極、柵極和環(huán)加速電子的陽極組成。陰極和陽極之間的電壓差必須很高，一般在千伏到300萬伏之間。它能發(fā)射并形成速度均勻的電子束，因此加速電壓的穩(wěn)定性要求不低于萬分之一。

樣品可以穩(wěn)定地放置在樣品架上，通常還有一個裝置可以用來改變樣品（如移動、旋轉(zhuǎn)、加熱、冷卻、拉長等）。探測器用于收集電子信號或二次信號。真空裝置用于保證顯微鏡中的真空狀態(tài)，使電子在其路徑上不被吸收或偏離，由機械真空泵、擴(kuò)散泵和真空閥組成，并通過抽氣管與鏡筒連接。

電源柜由高壓發(fā)生器、勵磁電流穩(wěn)流器和各種調(diào)節(jié)控制單元組成。

以上內(nèi)容是電子顯微鏡結(jié)構(gòu)的介紹。根據(jù)結(jié)構(gòu)和用途，電子顯微鏡可分為透射式電子顯微鏡、掃描式電子顯微鏡、反射式電子顯微鏡和發(fā)射式電子顯微鏡。透射式電子顯微鏡常用于觀察普通顯微鏡無法區(qū)分的細(xì)微物質(zhì)結(jié)構(gòu)；掃描式電子顯微鏡主要用于觀察固體表面的形狀，也可與X射線衍射器或電子能譜儀相結(jié)合，形成物質(zhì)成分分析的電子微探針；發(fā)射式電子顯微鏡用于研究自發(fā)式電子表面。