1、劃痕

劃痕即是樣品表面上的線性凹槽，是由研磨粒子造成的。

應(yīng)對(duì)措施：

1.確定在粗磨后，試樣座上所有樣品的表面都均勻地布滿(mǎn)同樣的 磨痕花樣；必要時(shí)重新進(jìn)行粗磨；

2.每一道步聚后均應(yīng)仔細(xì)清潔樣品和試樣座，以去掉前一道工序中的大研磨粒子對(duì)磨/拋用具的干擾；

3.如果在現(xiàn)行的拋光工序后仍有前面工序留下的磨痕，請(qǐng)先增加 25~50%的制樣時(shí)間。

二、變形

塑性變形（也可稱(chēng)為冷加工）可能導(dǎo)致在研磨、精研或拋光之后存在表面下缺陷。可在蝕刻之后首先看到殘余的塑性變形。

應(yīng)對(duì)措施：

1.變形是一種浸蝕后即刻顯現(xiàn)的假象（化學(xué)、物理或光浸蝕）。

2.如果在明場(chǎng)下觀察未浸蝕樣品時(shí)仍可見(jiàn)到懷疑是變形線的形貌，請(qǐng)首先參看“劃痕”這一節(jié)看看如何改進(jìn)制樣方法。

三、邊緣磨圓

當(dāng)使用回復(fù)性高的拋光布時(shí)，有時(shí)會(huì)同時(shí)研磨樣品的表面和側(cè)面，這種效應(yīng)稱(chēng)為邊緣磨圓。果樹(shù)脂的磨損速率大于樣品，則會(huì)出現(xiàn)這種現(xiàn)象。

應(yīng)對(duì)措施：

磨制過(guò)程中要保護(hù)好需檢驗(yàn)的邊緣，不要因檢驗(yàn)樣品邊緣而對(duì)樣品邊緣過(guò)度磨制產(chǎn)生倒角，

拋光時(shí)試樣需要保護(hù)的一邊朝后，不需保護(hù)的一邊在前，迎著拋光盤(pán)轉(zhuǎn)動(dòng)的方向進(jìn)行拋光，拋光時(shí)盡可能接近盤(pán)心位置，拋光時(shí)間不宜過(guò)長(zhǎng)。

四、曳尾

當(dāng)樣品與拋光盤(pán)沿同一方向運(yùn)動(dòng)時(shí)，曳尾常發(fā)生在析出相或孔洞的周?chē)?。其典型的形狀使其被稱(chēng)為“曳尾”。

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