用于純氣中雜質氣體分析的氣相色譜檢測器主要有以下幾種：

1、熱傳導池檢測器（TCD）

　　該檢測器的指標可以達到ppm級檢測。與變溫濃縮法配合可以檢測到ppb級，例如高純氫氣，超純氫的檢測可以測到0.1ppb（0.1x10-9V/V）級。

2、氣敏檢測器

　　在檢測高純氮氣的國家標準（GB/T8980-1996）中用此檢測器可以檢測到此0.1ppm雜質氫氣。

3、氫火焰離子化檢測器（FID）

　　國家標準（GB/T8984.1-3-1997）氣體中一氧化碳、二氧化碳和碳烴化合物的測定是利用火焰離子化法轉化后，直接測定,可檢測zui小濃度0.1ppm。配合變溫濃縮可測到1 ppb。

4、改性離子檢測器（M-ArID）

　 將氬離子化檢測器改性后可以檢測高純氬中的氫、氧、氮、甲烷、一氧化碳和二氧化碳雜質氣，zui小檢測濃度可到0.1ppm。

5、氦離子化檢測器（HeID）

　 該檢測器大多使用檢測高純氦氣中雜質氣體，直接檢測可到1ppb [3，16] 。也有與切換技術配合檢測其它高純氣中雜質氣[15]。

6、電子捕獲檢測器（ECD）

　　該檢測器可以檢測高純氮氣、氬氣、一氧化碳等氣中的痕量氧（ppb級）。

7、另外還有氧化鋯檢測器、離子遷移檢測器等。

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