要素：精，直線導(dǎo)軌的運(yùn)動(dòng)靈敏度和定位精度。線性馬達(dá)運(yùn)動(dòng)靈敏度是指運(yùn)動(dòng)構(gòu)件能實(shí)現(xiàn)的最小行程;定位精度是指運(yùn)動(dòng)構(gòu)件能按要求停止在位置的能力。運(yùn)動(dòng)靈敏度和定位精度與導(dǎo)軌類(lèi)型、摩擦特性、運(yùn)動(dòng)速度、傳動(dòng)剛度、運(yùn)動(dòng)構(gòu)件質(zhì)量等因素有關(guān)。

第二要素：剛，模組和支承件的熱變形，選購(gòu)線性模組時(shí)要考慮到模組和支承件的熱變形，微型電鋼數(shù)值越小越好。導(dǎo)向精度是指運(yùn)動(dòng)構(gòu)件沿導(dǎo)軌導(dǎo)面運(yùn)動(dòng)時(shí)其運(yùn)動(dòng)軌跡的準(zhǔn)確水平。影響導(dǎo)向精度的主要因素有導(dǎo)軌承導(dǎo)面的幾何精度、導(dǎo)軌的結(jié)構(gòu)類(lèi)型、導(dǎo)軌副的接觸精度、外表粗糙度、導(dǎo)軌和支承件的剛度、導(dǎo)軌副的油膜厚度及油膜剛度。直線運(yùn)動(dòng)導(dǎo)軌的幾何精度一般包括：垂直平面和水平平面內(nèi)的直線度;兩條導(dǎo)軌面間的平行度。單軸手臂導(dǎo)軌幾何精度可以用導(dǎo)軌全長(zhǎng)上的誤差或單位長(zhǎng)度上的誤差表示。

第三要素：穩(wěn)，平穩(wěn)性與穩(wěn)定性，穩(wěn)定性是指在給定的運(yùn)轉(zhuǎn)條件下不出現(xiàn)自激振動(dòng)的性能。平穩(wěn)性是指導(dǎo)軌在低速運(yùn)動(dòng)或微量移動(dòng)時(shí)不出現(xiàn)爬行現(xiàn)象的性能。平穩(wěn)性與導(dǎo)軌的結(jié)構(gòu)、導(dǎo)軌副材料的匹配、潤(rùn)滑狀況、潤(rùn)滑劑性質(zhì)及導(dǎo)軌運(yùn)動(dòng)之傳動(dòng)系統(tǒng)的剛度等因素有關(guān)。 精度堅(jiān)持性是指工作過(guò)程中保持原有幾何精度的能力。直交機(jī)械手模組的精度堅(jiān)持性主要取決于導(dǎo)軌的耐磨性極其尺寸穩(wěn)定性。耐磨性與導(dǎo)軌副的資料匹配、受力、加工精度、潤(rùn)滑方式和防護(hù)裝置的性能的因素有關(guān)。導(dǎo)軌及其支承件內(nèi)的剩余應(yīng)力也會(huì)影響導(dǎo)軌的精度堅(jiān)持性。