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燒結(jié)爐是指使粉末壓坯通過燒結(jié)獲得所需的物理、力學性能以及微觀結(jié)構(gòu)的專用設(shè)備。燒結(jié)爐用于烘干硅片上的漿料、去除漿料中的有機成分、完成鋁背場及柵線燒結(jié)
因此,氣氛燒結(jié)爐在結(jié)構(gòu)上應(yīng)滿足以下要求:
(1)具有完善的潤滑劑燒除裝置(俗稱脫蠟帶)。
(2)具有氣密性,即能隔絕爐外空氣并保證爐內(nèi)保護氣氛暢通。
(3)爐內(nèi)的各段溫度可控,燒結(jié)氣氛可調(diào)。
(4)具有快速冷卻裝置,可將燒結(jié)零件快速冷卻到出爐溫度而不會氧化。