三坐標(biāo)測頭誤差來源及誤差分析

對于接觸式觸發(fā)測頭誤差來源有2個：如下圖所示，由于側(cè)桿角位移必須到一定值后觸點才能斷開，因此測尖接觸工件到發(fā)出觸測信號之間有延遲；延遲的距離與觸測力FC和測桿長度L成正比。由于測桿剛性的影響，在測尖探測工件時，測桿有彎曲變形。

對于非接觸式觸發(fā)測頭的誤差來源：由于光學(xué)光線的干涉和衍射現(xiàn)象。

常規(guī)接觸式測頭是由紅寶石材料做成,優(yōu)點是接觸變形和側(cè)向摩擦小,缺點是接觸力造成的局部彈性變形及安裝測球的測桿產(chǎn)生的彎曲變形很大,以及存在“各向異性”、“開關(guān)行程”、“開關(guān)行程分散性”、“復(fù)位死區(qū)”等誤差。目前市售的這類測頭的重復(fù)性精度只能達(dá)到微米及零點幾微米,使測量機(jī)整體測量的精度不能再得到提高。

非接觸測量的特點就是測量力為零,但光學(xué)式非接觸式測頭由于光線的干涉和衍射現(xiàn)象,其測頭精度只在微米量級。目前出現(xiàn)的幾種非接觸式光學(xué)測頭如瞄準(zhǔn)顯微鏡測頭、光學(xué)點位測頭和電視掃描測頭都是現(xiàn)有技術(shù)在三坐標(biāo)測量機(jī)上的應(yīng)用 ,其結(jié)構(gòu)復(fù)雜,應(yīng)用范圍非常狹小。