三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)氣動(dòng)技術(shù)是三坐標(biāo)設(shè)計(jì)、制造和使用中重要的技術(shù)之一。氣動(dòng)技術(shù)就是利用壓縮空氣或空氣流動(dòng)進(jìn)行各種操作的技術(shù)。壓縮空氣是以空氣為原料，因此與空氣性質(zhì)相同，作為動(dòng)力源使用，具有安全性高、無(wú)公害的特點(diǎn)，因此廣泛應(yīng)用于機(jī)械制造行業(yè)。
    對(duì)于三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)，壓縮空氣對(duì)三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)有以下應(yīng)用：
    1.  提供靜壓式空氣軸承（也稱氣浮）的動(dòng)力：絕大多數(shù)坐標(biāo)測(cè)量機(jī)都是采用的氣浮形式實(shí)現(xiàn)運(yùn)動(dòng)的零摩擦，原理就是將高壓壓縮空氣從進(jìn)氣孔注入氣浮的內(nèi)腔中，并通過(guò)氣浮工作表面的小孔流出，在氣浮和導(dǎo)軌的工作面之間形成一定厚度的氣膜，該氣膜的形成可使移動(dòng)部件的移動(dòng)實(shí)現(xiàn)近似于零摩擦，這樣，就能保證測(cè)量機(jī)的正常工作狀態(tài)。所以，壓縮空氣提供了保證測(cè)量機(jī)正常工作的前提。
    2.  提供給氣缸平衡的動(dòng)力：在測(cè)量機(jī)中，由于Z軸處于鉛垂方向，自重產(chǎn)生的作用力必須由其他平衡部件進(jìn)行消除，而平衡氣缸由于運(yùn)動(dòng)平穩(wěn)，停止可靠，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單以及便于調(diào)整等優(yōu)點(diǎn)成為目前所有測(cè)量機(jī)平衡部件的選擇，而為平衡氣缸提供動(dòng)力的高壓壓縮空氣在平衡系統(tǒng)中的作用是顯而易見(jiàn)的。