三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)一般都采用氣浮軸承，因此需要壓縮空氣；壓縮空氣的質(zhì)量直接影響三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)的正常工作及使用壽命；因此氣源處理，就顯得尤為重要。一般來說，三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)的氣源的雜質(zhì)主要來源于：由系統(tǒng)外部通過空壓機(jī)等吸入的雜質(zhì)、系統(tǒng)內(nèi)部產(chǎn)生的雜質(zhì)和系統(tǒng)安裝和維修時(shí)產(chǎn)生的雜質(zhì)；
    從空壓機(jī)輸出的壓縮空氣中，含有大量的水分，油分和粉塵等雜質(zhì)，必須適當(dāng)?shù)那宄@些雜質(zhì)，以避免他們對(duì)氣動(dòng)系統(tǒng)的正常工作造成的危害；
    變質(zhì)油分的粘度增大，從液態(tài)鑄件固態(tài)化而形成油泥，這樣會(huì)堵塞氣浮塊的氣孔，造成氣動(dòng)元件內(nèi)的相對(duì)運(yùn)動(dòng)件的動(dòng)作不靈活。水分會(huì)腐蝕金屬零件，管道內(nèi)滯留冷凝水，會(huì)導(dǎo)致流量不足，壓力損失增大。鐵屑和粉塵使運(yùn)動(dòng)部件磨損，造成元件動(dòng)作不良，粉塵會(huì)加速密封件損傷，導(dǎo)致漏氣。
    空氣質(zhì)量不良也是氣動(dòng)系統(tǒng)出現(xiàn)故障的主要的因素，使氣動(dòng)系統(tǒng)的可靠性和使用壽命大大降低。
    因此，三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)一般都配備氣源處理組件，進(jìn)行壓縮空氣的凈化處理；