三坐標(biāo)測量機(jī)的測頭校正是測量過程中的重要環(huán)節(jié),測頭校正主要使用標(biāo)準(zhǔn)球進(jìn)行,雖然紅寶石是常用的三坐標(biāo)測量機(jī)校正球材料，但其他材料可能更適合進(jìn)行接觸掃描測量。在掃描測量時，三坐標(biāo)測量機(jī)校正球沿著工件表面滑行，會產(chǎn)生摩擦磨損。在某些情況下，這種長期接觸可能會導(dǎo)致三坐標(biāo)測量機(jī)校正球材料從球上被磨除，或工件材料被粘著到三坐標(biāo)測量機(jī)校正球上。無論哪一種情況，都會影響三坐標(biāo)測量機(jī)校正球的圓度。當(dāng)三坐標(biāo)測量機(jī)校正球的某一部位與工件經(jīng)常保持接觸時，這種圓度誤差就會不斷增大。
    在掃描測量某些材料表面時，可能會發(fā)生磨粒磨損。殘留的微小顆粒可能會導(dǎo)致三坐標(biāo)測量機(jī)校正球和工件表面被輕微劃傷，從而在三坐標(biāo)測量機(jī)校正球上形成一個微小“平面”。對于此類測量，硬度更高的氧化鋯三坐標(biāo)測量機(jī)校正球是一種不錯的選擇。粘結(jié)磨損通常發(fā)生在三坐標(biāo)測量機(jī)校正球材料與工件材料具有化學(xué)親和力的情況下，在用人造紅寶石三坐標(biāo)測量機(jī)校正球掃描測量鋁件時較為常見，因為人造紅寶石的主要成分是氧化鋁。從相對較軟的鋁件上轉(zhuǎn)移到三坐標(biāo)測量機(jī)校正球上的材料可能生成一層“涂層”，從而降低三坐標(biāo)測量機(jī)校正球的圓度精度。在這種情況下，氮化硅三坐標(biāo)測量機(jī)校正球是更好的選擇，因為這種材料具有良好的耐磨性，而且對鋁沒有親合力。