幾十年以前，三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)在工業(yè)界僅是極少人知道的。但自從60年代起，由于電子、計(jì)算機(jī)及傳感器等技術(shù)的發(fā)展，特別是氣浮軸承、光學(xué)線性尺和計(jì)算機(jī)這三項(xiàng)科技進(jìn)步成果的出現(xiàn)，使三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)具備了的測(cè)量功能?，F(xiàn)在的三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)具備的測(cè)量功能已包括了尺寸精度、定位精度、幾何精度及輪廓精度的測(cè)量等。較傳統(tǒng)測(cè)量?jī)x器，三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)的優(yōu)勢(shì)如下：
1、探測(cè)頭可以在空間沿X、Y、Z三個(gè)軸向移動(dòng)，其們置以直角標(biāo)或極坐標(biāo)表示。
2、工件立方體的五個(gè)面皆可測(cè)量，無需變換工件位置，若加裝適當(dāng)夾具及特殊測(cè)頭，第六面亦可測(cè)量。
3、三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)的操作和測(cè)量工作，不需要特殊的技術(shù)即可勝任
4、可以在任何的位置，設(shè)定工作坐標(biāo)系原點(diǎn)，并且以間接主算法計(jì)算出測(cè)量結(jié)果，增加測(cè)量的功能與使用彈性。
5、以電腦數(shù)據(jù)處理機(jī)，快速準(zhǔn)確的計(jì)算出測(cè)量值，配合教導(dǎo)程式使坐標(biāo)測(cè)量機(jī)的測(cè)理工作自動(dòng)化。
6、取代傳統(tǒng)測(cè)量方式，提高檢驗(yàn)準(zhǔn)確度，并且對(duì)于高精度產(chǎn)品，可以檢驗(yàn)。
7、復(fù)雜的工件與測(cè)量困難度高的工件，皆可以作精確的測(cè)量。
8、大幅減小檢驗(yàn)時(shí)間、檢驗(yàn)費(fèi)用、檢驗(yàn)人力，增加測(cè)量效率。