如果把整個三坐標測量機系統(tǒng)比作“人”的話，軟件系統(tǒng)則是“人”的大腦。三坐標測量機軟件系統(tǒng)從表面上看五花八門，但根據(jù)軟件功能的不同，可把三坐標測量機軟件作如下區(qū)分。
    （1）基本測量軟件 基本測量軟件是三坐標測量機的配置軟件。它負責完成整個測量系統(tǒng)的管理，包括探針校正、坐標系的建立與轉(zhuǎn)換、輸入輸出管理、基本幾何要素的尺寸與形位精度測量和元素構成等基本功能。
    （2）專用測量軟件 專用測量軟件是針對某種具有特定用途的零部件的測量問題而開發(fā)的軟件，有時也稱之為特殊測量軟件。如齒輪、螺紋、凸輪、自由曲線和自由曲面等測量都需要各自的專用測量軟件。
    （3）附加功能軟件 為了增強三坐標測量機的功能和用軟件補償?shù)姆椒ㄌ岣邷y量精度，三坐標測量機中還常有各種有各種附加功能軟件，如附件驅(qū)動軟件、統(tǒng)計分析軟件、誤差檢測軟件、誤差補償軟件、CAD軟件等。