影響激光干涉儀測量精度的主要因素如下：
1）激光頻率穩(wěn)定性 在激光干涉儀中，將激光波長作為長度基準(zhǔn)，激光頻率變化直接影響測量結(jié)果。
2）大氣折射率
3）死程誤差 在零位時(shí)，激光干涉儀兩相干光的還有一段光程差，這一段光程差稱為死程。死程的變化會引起測量誤差，死程誤差是激光干涉儀的一項(xiàng)重要誤差。
4）余弦誤差 在測定三坐標(biāo)測量機(jī)的定位誤差時(shí)，需仔細(xì)調(diào)整，使光束與滑座的運(yùn)動(dòng)方向平等。
5）脈沖當(dāng)量誤差 激光干涉儀顯示的較小一個(gè)數(shù)所對應(yīng)的量值稱為脈沖當(dāng)量。
6）細(xì)分誤差 在干涉條紋一個(gè)周期內(nèi)由插細(xì)分不均勻引起的誤差。
7）阿貝誤差 為避免阿貝誤差，需將角隅棱鏡的頂點(diǎn)調(diào)整到所測的直線上，否則由于滑座的角運(yùn)動(dòng)誤差引起阿貝誤差。
在三坐標(biāo)測量機(jī)的定位誤差測量中，通常選用商品激光干涉儀。頻率穩(wěn)定性、細(xì)分誤差由激光干涉儀性能決定。在調(diào)整、測量中要注意減小大氣折射率、死程誤差、余弦誤差、脈沖當(dāng)量、阿貝誤差等帶來的影響。