誤差補(bǔ)償技術(shù)是提高三坐標(biāo)測量機(jī)精度的一項(xiàng)重要技術(shù)，但只有在一定條件下，它才能發(fā)揮其作用，這些條件包括如下幾個(gè)。
    1）具有合適的數(shù)學(xué)模型 一種誤差能否得到補(bǔ)償，主要看能否對它建立合適的數(shù)學(xué)模型。沒有合適的數(shù)學(xué)模型，或是誤差不能得到有效的補(bǔ)償，或是實(shí)現(xiàn)起來很困難，并難以獲得經(jīng)濟(jì)效益。
    2）可補(bǔ)償誤差應(yīng)占總誤差的主要成分 由于采用的模型與補(bǔ)償方法、檢測手段等原因，不是所有誤差都能得以補(bǔ)償?shù)?，例如在采用簡單熱變形模型情況下，彎曲、扭曲熱變形引起的誤差不能得到補(bǔ)償。短周期誤差也較難補(bǔ)償。此外，還要求三坐標(biāo)測量機(jī)有較好的長期穩(wěn)定性，否則誤差數(shù)據(jù)經(jīng)常變化也會使補(bǔ)償失去意義。
    3）三坐標(biāo)測量機(jī)應(yīng)具有零位系統(tǒng)  例如采用零位光柵，使測量機(jī)在X、Y、Z三個(gè)方向都有零位。檢測三坐標(biāo)測量機(jī)的誤差和對它進(jìn)行補(bǔ)償都應(yīng)在以這一位為原點(diǎn)的坐標(biāo)系統(tǒng)中進(jìn)行。
    4）數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)應(yīng)有足夠的內(nèi)存容量與響應(yīng)速度 對內(nèi)存容量一般要求不高，由幾千字節(jié)至幾十千字節(jié)即可滿足要求，為實(shí)現(xiàn)誤差補(bǔ)償，數(shù)據(jù)處理速度應(yīng)能滿足測量要求，在采用硬件補(bǔ)償時(shí)，補(bǔ)償機(jī)構(gòu)的響應(yīng)速度也應(yīng)能滿足要求。
    5）經(jīng)濟(jì)上合算 即采用誤差補(bǔ)償?shù)幕ㄙM(fèi)，包括誤差檢測費(fèi)用、測溫元件、建立零位、補(bǔ)償軟件或機(jī)構(gòu)的費(fèi)用等，比用其它方法達(dá)到同樣的精度，費(fèi)用要少。