在實際三坐標測量過程中，力變形誤差是不可避免的，主要產(chǎn)生原因有：
    1）測量機各個部件相對運動時，它們的重力作用的變化使構件變形發(fā)生變化；
    2）被測工件重量、位置的變更引起構件或工件自身變形的變化，這里也包括夾具對變形的影響；
    3）測頭及其附件的變更引起的變形的變化；
    4）上述因素引起的氣浮導軌氣膜厚度的變化；
    5）測量力引起的變形；
    6）由于工件剛度不足產(chǎn)生的變形誤差；
    7）測量機構件熱變形引起的熱應力而產(chǎn)生的力變形；
    8）動力加速度引起的變形；
    一般來說，三坐標測量機作為一種精密測量儀器應有較高的剛度，使力變形不成為影響它的測量精度的因素，但是隨著生產(chǎn)節(jié)奏的加快，要求三坐標測量機有較高的效率，包括較高的運動速度與探測速度，這就要求它的運動部件質量要輕，但這與提高構件剛度存在一定的矛盾。力變形的影響依然是三坐標測量機的設計與性能評定的中必須考慮的一個問題。