使用三坐標(biāo)測量機(jī)進(jìn)行測量之初，通常要行探針校正。探針校正的意義如下。
1）正確確定探針的實(shí)際位置 使用一根固定的探針，只能測量簡單形狀的工件，對于深孔、長柱或有多個(gè)測量平面的復(fù)雜工件，通常需要使用多根探針組合或單探針多轉(zhuǎn)位的可回轉(zhuǎn)測頭才能完成測量任務(wù)。但處在不同位置的探針將會(huì)給出不同的坐標(biāo)值。為了獲得正確統(tǒng)一的坐標(biāo)值，軟件系統(tǒng)必須能自動(dòng)修正處于不同位置探針的坐標(biāo)差值。而這些坐標(biāo)值就是通過探針校正程序來確定，并儲(chǔ)存在計(jì)算機(jī)內(nèi)部數(shù)據(jù)庫時(shí)里。
2）補(bǔ)償測端球徑與探針撓曲變形誤差 ，有測量力就會(huì)有變形，盡管接觸式探針的測量力不是很大，但對于高精度的三坐標(biāo)測量來說，測量力使得測桿撓曲變形帶來的誤差是不容忽視的。理論和實(shí)踐都表明，一根普通的細(xì)長探針的撓曲變形可帶來數(shù)十微米的誤差，撓曲變形是一個(gè)復(fù)雜的物理過程，它受測力大小和測桿長短、粗細(xì)、材質(zhì)以及接觸形式等諸多因素的影響。從力學(xué)的角度來分析和確定變形量的大小是較困難的，也是不可取的。在三坐標(biāo)測量的實(shí)踐中，是通過測量一已知的實(shí)物標(biāo)準(zhǔn)（如標(biāo)準(zhǔn)球、量塊）得到帶有撓曲變形誤差的測端作用直徑。實(shí)際測量時(shí)，再和測端作用直徑對它進(jìn)行補(bǔ)償以獲得精密測量結(jié)果。在這一補(bǔ)償中，也在一定程度上補(bǔ)償了動(dòng)態(tài)探測誤差。