通常將
三坐標測量機的幾何參數(shù)誤差按其在各運動自由度方向作用分類,分為三項位置度、六項直線度、九項角擺誤差、以及三軸相互之間的三項垂直度,共二十一項參數(shù)誤差。
二十一項誤差是三坐標測量機的基本幾何誤差,為了保證三坐標測量機滿足示值誤差及探測誤差的要求,三坐標測量機生產(chǎn)廠家都要測量和控制這二十一項誤差,必要時進行補償。
二十一項誤差的測量可以使用不同的測量儀器進行檢測以便于修正,包括雙頻激光干涉儀、電子水平儀、直角尺、高精度電感測微儀,但是,需要注意的是,使用上述儀器測量參數(shù)誤差時,測量結(jié)果可能是幾種參數(shù)誤差的綜合結(jié)果。這二十一項中有:
X、Y、Z三個方向的位置度;
沿X、Y、Z三個方向運動時的六個直線(3X2);
沿X、Y、Z三個方向運動時自轉(zhuǎn)、俯仰、方向九個角擺;
X、Y、Z各軸間三個垂直度;
對水平臂
三坐標測量機測為24項誤差,即加上水平臂伸出時的下垂量誤差。