為使三坐標(biāo)測量機的空氣軸承和空氣彈簧裝置正常工作，氣源的壓力要在規(guī)定的范圍內(nèi)。
    失壓將導(dǎo)致氣墊與導(dǎo)軌表面的機構(gòu)接觸，這意味著摩擦、滯后與磨損。為免于此，在這種情況下機器的驅(qū)動應(yīng)自動地斷開，另一方面，壓力太高會使軸承的振動加劇。壓力的選擇取決于三坐標(biāo)測量機的設(shè)計參數(shù)。
    當(dāng)氣壓太低時，空氣彈簧減振器下落形成接觸，它們的阻尼特性被破壞，當(dāng)氣壓太高時，在沉重的橋框或工作臺位移激勵下，整個機器可能處于顛簸運動中。
    水、油及鋼管銹蝕產(chǎn)生的塵粒，對空氣軸承和空氣彈簧隔震器的性能有損害作用，需要定期維護(hù)過濾器和隔離器，將塵粒從壓縮空氣中消除。
    送入三坐標(biāo)測量機的壓縮空氣溫度，與在三坐標(biāo)測量機氣墊處由于空氣擴(kuò)張而產(chǎn)生的冷卻作用，都對三坐標(biāo)測量機溫度有影響，而常被人們忽略。要注意它們的影響。其影響與三坐標(biāo)測量機的空氣用量有關(guān)。