以前一般對三坐標測量機軟件引起的誤差不太注意，認為數(shù)字計算可以很準確，只存在量化誤差。但是隨著系統(tǒng)測量精度的提高，發(fā)現(xiàn)經(jīng)過處理以后的采集數(shù)據(jù)也會產(chǎn)生誤差，這就是軟件誤差引起的，軟件在數(shù)據(jù)處理過程中產(chǎn)生較大誤差的主要原因如下:
    (1)由于某些計算比較復雜，在軟件的編制過程中采用了一些近似算法，例如，忽略了某些原因，使用線性的二乘法來代替非線性二乘法計算;
    (2)在誤差計算中常常對兩個數(shù)值很接近的量進行相減，相減中相對誤差增大。相減后再進行乘除運算，誤差也會增大。
    (3)軟件中對方向余弦的值所給的有效數(shù)字位數(shù)不夠;
    (4)軟件對“毛刺”十分敏感，個別值有些偏差就會引起較大的計算誤差。
    (5)對數(shù)據(jù)可能產(chǎn)生的各種情況考慮不周。對一類數(shù)據(jù)能給出較精確的計算結(jié)果，而對另一類數(shù)據(jù)則會產(chǎn)生較大誤差，乃至發(fā)生差錯，或者根本不能進行計算。