物體的尺寸隨溫度而變化，這是固定特性，它產(chǎn)生熱變形誤差的主要因素有2 個:一是被測物體和三坐標測量儀器的溫度偏離20 0C;二是被測物體的尺寸和儀器的性能隨溫度變化。對于被測物體來說，主要是它的尺寸隨溫度變化，即它具有不為零的線膨脹系數(shù);對于三坐標測量儀器來說，可能是它的結(jié)構(gòu)尺寸變化，也可能是它的其它性能變化，例如放大器的增益隨溫度變化;光電管的電流隨著溫度的升高而增加等。
    如果三坐標測量儀器的溫度場均勻，且由具有相同的線膨脹系數(shù)的材料制成，那么三坐標測量儀器只產(chǎn)生簡單的熱變形，因此產(chǎn)生的熱誤差等于工件的熱變形誤差與標尺的熱變形誤差的差值。但是現(xiàn)實中儀器存在溫度梯度，而且各部分線膨脹系數(shù)不同，由此產(chǎn)生復(fù)雜變形，對于長度比較大的工件來說，將產(chǎn)生的誤差也更大。對于光柵尺標尺系統(tǒng)來說，由于使用玻璃光柵，與機構(gòu)的鋼線膨脹系數(shù)相差較遠，因此更易于產(chǎn)生溫度誤差。光柵尺的讀數(shù)頭經(jīng)過長時間的光源照射，溫度將會大幅度升高，讀數(shù)可能出現(xiàn)很大的偏移，實際測量中曾經(jīng)出現(xiàn)錯誤的數(shù)據(jù)，因此，對于溫度引起誤差應(yīng)給予很高的重視。為了解決上述的問題，我們要求:
    (1)三坐標測量機安裝在固定的場所，要求環(huán)境溫度不能太高，通風(fēng)條件應(yīng)該良好;
    (2)在三坐標軟件中采用熱變形系數(shù)來進行補償;
    (3)三坐標測量機工作一段時間后，應(yīng)停機降溫，一般工作不超過一個小時，且微型計算機的電源應(yīng)該關(guān)閉;
    在我們實際使用中，如果考慮到以上幾點，在一般的室溫條件下，三坐標測量數(shù)據(jù)因為線膨脹系數(shù)的影響而產(chǎn)生的誤差應(yīng)該是可以控制的。