對于接觸式觸發(fā)測頭誤差來源有2個：如下圖所示，由于側桿角位移必須到一定值后觸點才能斷開，因此測尖接觸工件到發(fā)出觸測信號之間有延遲；延遲的距離與觸測力FC和測桿長度L成正比。由于測桿剛性的影響，在測尖探測工件時，測桿有彎曲變形。
對于非接觸式觸發(fā)測頭誤差來源：由于光學光線的干涉和衍射現(xiàn)象。
常規(guī)接觸式測頭是由紅寶石材料做成,優(yōu)點是接觸變形和側向摩擦小,缺點是接觸力造成的局部彈性變形及安裝測球的測桿產(chǎn)生的彎曲變形很大,以及存在“各向異性”、“開關行程”、“開關行程分散性”、“復位死區(qū)”等誤差。目前市售的這類測頭的重復性精度只能達到微米及零點幾微米,使測量機整體測量的精度不能再得到提高。
非接觸測量的特點就是測量力為零,但光學式非接觸式測頭由于光線的干涉和衍射現(xiàn)象,其測頭精度只在微米量級。目前出現(xiàn)的幾種非接觸式光學測頭如瞄準顯微鏡測頭、光學點位測頭和電視掃描測頭都是現(xiàn)有技術在三坐標測量機上的應用 ,其結構復雜,應用范圍非常狹小。
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