三坐標(biāo)測量機的精度，實際上應(yīng)該區(qū)別為測量機的機器精度和測量機的測量精度。機器精度即測量頭中心在測量空間內(nèi)任意位置的位置精度，它包含測量方法、測量頭、工作狀態(tài)及溫度影響等因素。對于三坐標(biāo)測量機的精度評定包括如下內(nèi)容：
    1、高精度
    三坐標(biāo)測量機的單軸示值精度，在1m測量范圍內(nèi)其誤差值小于±5μm。
    2、中等精度
    單軸示值精度在1m的測量范圍內(nèi)，其誤差值在±5~±15μm之間。
    3、低精度
    單軸示值精度在1m內(nèi)，其誤差值大于±15μm。
    西安愛德華測量設(shè)備股份有限公司生產(chǎn)的三坐標(biāo)測量機覆蓋高、中、低三個級別，三坐標(biāo)測量機的精度與工作效率和測頭密切相關(guān)，沒有的測頭，就無法發(fā)揮測量機的功能。測量頭即精密位移傳感器，分機械接觸式測頭和光學(xué)非接觸式測頭，一般采用接觸式測頭，便于標(biāo)注測量位置。它的應(yīng)用除三維葉片型線檢測外，還可用于劃線、打沖眼、鉆孔等，在中等精度以上的三坐標(biāo)測量機上亦可用于電機部件形位公差、裝配等精度要求高的工作。光學(xué)非接觸式測頭對于測量較軟、薄、脆、易變形的工件具有獨到的優(yōu)點。