接觸式三坐標測量的主要缺點有：
(1) 為了確定測量基準點需使用特殊的夾具，這會導致較高的測量費用。不同形狀的產品會造成原來的夾具不適用而使成本增加。
(2) 球形測頭容易因接觸力造成磨損，所以，為了維持一定的精度，需要經(jīng)常校正球形測頭的直徑。
(3) 不當?shù)牟僮魅菀讚p害被測件某些重要部位的表面精度，也會使測頭損壞。
(4) 接觸式觸發(fā)測頭是以逐點進出方式進行測量的，所以測量速度慢。
(5) 檢測一些內部元件有先天的限制，如測量內圓直徑，觸發(fā)測頭的直徑必定要小于被測內圓直徑，被測件內部不易測量處是測量的死角。
(6) 對三維曲面的測量，因傳統(tǒng)觸發(fā)式測頭是感應元件，測量到的點是測頭的球心位置，故欲求得物體真實外形則需要對調頭半徑進行補償，因而可能會導致修正誤差的問題。計算比較繁瑣，同時這也是測量誤差的來源之一。
(7) 接觸測頭在測量時，測頭的接觸力將使測頭尖部分與被測件之間發(fā)生局部變形而影響測量值的實際讀數(shù)。
(8) 測量系統(tǒng)的支撐結構存在靜態(tài)及動態(tài)誤差。
(9) 由于測頭觸發(fā)機構的慣性及時間延遲而使測頭產生超越(Overshoot)現(xiàn)象，趨近速度會產生動態(tài)誤差。
(10) 因為接觸面積與被測件表面的幾何形狀有關，即使測量接觸力保持一定，測量壓力并不能保證一定。