微電子工業(yè)是一種高科技產(chǎn)業(yè)，它涉及到各種微型電子器件和集成電路的設(shè)計、制造和應(yīng)用。微電子工業(yè)對生產(chǎn)環(huán)境的要求非常嚴(yán)格，因為微電子器件和集成電路的尺寸非常小，極易受到空氣中的粉塵、細(xì)菌、有機物等污染物的影響，從而影響其性能和可靠性。因此，微電子工業(yè)需要在潔凈室中進行生產(chǎn)，潔凈室是一種能夠控制空氣中的污染物含量和溫濕度等參數(shù)的特殊房間。

然而，建造和維護一個潔凈室是非常昂貴和復(fù)雜的，需要大量的投資、設(shè)備、人員和能源。而且，并不是所有的微電子生產(chǎn)工藝都需要同樣高級別的潔凈度，有些工藝只需要局部高潔凈環(huán)境，而不需要整個房間都達到高潔凈度。為了解決這個問題，潔凈棚就應(yīng)運而生了。

潔凈棚是一種能夠提供局部高潔凈環(huán)境的空氣凈化設(shè)備，它可以快速、方便地建立一座簡易的無塵室，適用于電子、微電子、半導(dǎo)體、液晶、醫(yī)藥、生物、工程、光學(xué)、航天等行業(yè)的局部高潔凈度場合。潔凈棚具有結(jié)構(gòu)靈活、性能可靠、、成本節(jié)省等優(yōu)點，是微電子工業(yè)理想的凈化設(shè)備選擇。

潔凈棚的主要組成部分有以下幾個：

一、風(fēng)機過濾器單元（FFU）：FFU是潔凈棚的核心部件，它由風(fēng)機和過濾器組成，可以將空氣過濾并送入潔凈棚內(nèi)，形成單向流或非單向流的高潔凈空氣流場。FFU可以根據(jù)不同的需求選擇不同的過濾效率和風(fēng)量，一般采用高效或超高效過濾器。

二、潔凈棚骨架：骨架是潔凈棚的支撐結(jié)構(gòu)，一般采用鋁合金或不銹鋼材料制作，可以根據(jù)不同的尺寸和形狀定制。骨架上可以安裝燈具、儀表、插座等輔助設(shè)備。

三、潔凈棚圍護：圍護是潔凈棚的外部覆蓋物，一般采用防靜電軟簾或硬板材料制作，可以隔離外部污染空氣，并保持潔凈棚內(nèi)的正壓。圍護上可以設(shè)置門窗等通道設(shè)施。

四、潔凈棚地板：地板是潔凈棚的底部覆蓋物，一般采用防靜電地板或架空地板材料制作，可以承受設(shè)備和人員的重量，并方便回風(fēng)和敷設(shè)管線。

潔凈棚在微電子工廠的應(yīng)用非常廣泛，主要有以下幾個方面：

一、在微電子工廠的前道工序中，如光刻、蝕刻、擴散、離子注入等，需要高級別的潔凈度，一般采用垂直單向流的潔凈棚，可以有效地防止粒子、分子和靜電等污染物對微電子器件和集成電路的影響。

二、在微電子工廠的后道工序中，如切割、打線、封裝等，需要中低級別的潔凈度，一般采用非單向流的潔凈棚，可以有效地防止塵埃、細(xì)菌和有機物等污染物對微電子器件和集成電路的影響。

三、在微電子工廠的檢測和維修環(huán)節(jié)中，需要局部高潔凈環(huán)境，一般采用便攜式或移動式的潔凈棚，可以有效地提供清潔和安全的操作空間，方便對微電子器件和集成電路進行檢測和維修。

潔凈棚是一種高效、經(jīng)濟、靈活的空氣凈化設(shè)備，它可以根據(jù)不同的需求提供不同級別的局部高潔凈環(huán)境，為微電子工業(yè)的生產(chǎn)、檢測和維修提供了有力的保障。隨著微電子技術(shù)的不斷發(fā)展和創(chuàng)新，潔凈棚在微電子工廠的應(yīng)用也將更加廣泛和深入。