對于光譜儀業(yè)內(nèi)人士來說光譜儀的精密度包括短期精密度和長期精密度，但對于使用者來說其常常被理解為準(zhǔn)確度，實際兩者是可以統(tǒng)一的，精密度好的儀器，準(zhǔn)確度一定能調(diào)試好，反之則不能。
光譜儀的精密度與儀器的靈敏度關(guān)聯(lián)度非常高，一般情況高靈敏度儀器精密度也高，比如一條譜線實際光強(qiáng)為10lm，假設(shè)探測器靈敏則轉(zhuǎn)化為1000μA,探測器不靈敏則可能為100μA，示值就有10倍的差距，就像用米尺去測工件，誤差在毫米以上。當(dāng)然還有數(shù)值處理方法和人為因素，在這里不討論。那么靈敏度與哪些因素有關(guān)呢？本文歸納以下幾點：
（1）光源的特性，其中包括光源能量、頻率特性、單火花脈沖能量、放電波形等，因此良好的光源一定是千百次對不同材料試驗調(diào)整的結(jié)果；
?。?）光柵的衍射效率，光柵的制造的特點是個體的差異性很大，少見兩塊衍射曲線一樣的光柵，這是光柵的制造工藝決定的。高的衍射效率有效信號損失的就小，才能將更真實的信號呈現(xiàn)在探測器接收面；
（3）探測器的性能，一個靈敏且穩(wěn)定的探測器是對信號強(qiáng)度真實反映的條件。
?。?）軟件數(shù)學(xué)模型，一個真實信號不僅僅是剔除背景，而是瞬態(tài)和趨勢的即時展現(xiàn)，尤其大數(shù)據(jù)高速采樣，已經(jīng)突現(xiàn)軟件建模的數(shù)值計算技巧和深奧數(shù)理結(jié)合的重要性。
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