1.什么是臭氧和臭氧的危害。

臭氧是地球大氣中一種微量氣體，它是由于大氣中氧分子受太陽(yáng)輻射分解成氧原子后，氧原子又與周圍的氧分子結(jié)合而形成的，含有3個(gè)氧原子。大氣中90%以上的臭氧存在于大氣層的上部或平流層，離地面有10～50千米，這才是需要人類保護(hù)的大氣臭氧層派薯氏。還有少部分的臭氧分子徘徊在近地面，仍能對(duì)阻擋紫外線有一定作用。

當(dāng)臭氧達(dá)到一定濃度時(shí)，可使人呼吸加速、胸悶，如果濃度進(jìn)一步提高，可引起脈搏加速、疲倦、頭痛塵散，在這樣的環(huán)境中停留1小時(shí)，會(huì)發(fā)生肺氣腫，甚至死亡。長(zhǎng)期呆在臭氧污染嚴(yán)重的環(huán)境中，對(duì)皮膚健康也可能有損傷，還可能增加致癌危險(xiǎn)。臭氧污染還會(huì)對(duì)環(huán)境造成損害。比如，會(huì)導(dǎo)致植物葉片壞死、脫落，危害生態(tài)環(huán)境，造成農(nóng)作物減產(chǎn)等。

2.臭氧在半導(dǎo)體工業(yè)中的應(yīng)用

在過去的幾年中，臭氧在半導(dǎo)體工業(yè)的應(yīng)用越來(lái)越受到重視，特別是在晶圓清洗過程。

在半導(dǎo)體行業(yè)，清潔度是一個(gè)的要求。即使是很小的污染物痕跡也會(huì)導(dǎo)致晶圓表面區(qū)域結(jié)構(gòu)的改變。自80年代末以來(lái)，在芯片生產(chǎn)中采用臭氧的清潔工藝已經(jīng)被使用。隨著修改和新方法的開發(fā)，人們的興趣繼續(xù)增長(zhǎng)。每個(gè)晶圓處理步驟都是潛在的污染源，每個(gè)步驟都有其特定類型的污染物。這意味著一個(gè)有效的清洗過程包括幾個(gè)清洗步驟，以去除晶體上的所有污染物。同時(shí)“清潔”的行業(yè)要求擴(kuò)展到設(shè)備（臭氧發(fā)生器，接觸到的設(shè)備），這意味著不會(huì)產(chǎn)生顆粒，沒有金屬，離子或有機(jī)污染物。所以在半導(dǎo)體行業(yè)中會(huì)或多或少的有臭氧氣體的揮發(fā)到空氣中。

3.  怎么對(duì)進(jìn)行臭氧氣體監(jiān)測(cè)

在此，深圳新世聯(lián)科技有限公司推薦一款臭氧傳感器OC-B431，該傳感器具有響應(yīng)速度快、抗干擾、分辨率高、線性度好、靈敏度高等特點(diǎn)。傳感器是四電極電化學(xué)傳感器，不同于常規(guī)三電極電化學(xué)傳感器，OX-B431多了一個(gè)輔助極，用于補(bǔ)償零點(diǎn)電流，使傳感器具有更穩(wěn)定的零點(diǎn)。下面是OX-B431的部分參數(shù)：

量程：0-20ppm

分辨率：15ppb

靈敏度：-225~-75nA/ppm

過載：50ppm

尺寸：φ32.3X16.5