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亞太赫茲波段成像相機 探相機探測器部分基于GaAs異質(zhì)結(jié)高效的載流子遷移率，利用傳統(tǒng)光刻蝕的方法制造
亞太赫茲波段成像相機
探相機探測器部分基于GaAs異質(zhì)結(jié)高效的載流子遷移率，利用傳統(tǒng)光刻蝕的方法制造。成像傳感器制做在一個單獨的晶圓上。整個過程確保了等離子體探測器各項參數(shù)的穩(wěn)定性和高的響應(yīng)度（像素-像素之間的響應(yīng)度偏離20%之內(nèi)）。每個獨立的探測單元在室溫下的響應(yīng)度高達50KV/W，在10GHz-1THz之間的噪聲等效功率為1nW/Hz1/2。探測器的探測機制是基于在二維電子系統(tǒng)中入射太赫茲與等離子體振蕩的轉(zhuǎn)化過程。
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