產(chǎn)品詳情
GD-HS10半導(dǎo)體工廠氣體檢測(cè)儀是一款專(zhuān)門(mén)用于檢測(cè)半導(dǎo)體工廠中可燃、有毒、有害氣體濃度的儀器,具有高靈敏度、高可靠性、低濃度檢測(cè)等特點(diǎn)。電磁泵吸式吸氣,進(jìn)氣管長(zhǎng)度可達(dá)30米,氣管接頭采用快插接頭,操作施工方便。支持行業(yè)內(nèi)如氨氣、、氯氣、硅烷等四十多種氣體的檢測(cè),適用于半導(dǎo)體晶圓、液晶面板及光伏面板制造等行業(yè)。
產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)
1.泵壽命長(zhǎng),流量恒定
電磁泵吸原理,相對(duì)電機(jī)式機(jī)械磨損小
流量監(jiān)控,PID控制算法
2.配件替換簡(jiǎn)單,便于維護(hù)
卡扣式前蓋,手動(dòng)開(kāi)合
傳感器模組、泵模塊化設(shè)計(jì)
3.通信方式豐富
標(biāo)配4~20mA
可選485總線、消防總線或Ethernet
4.氣體檢測(cè)精度高
溫度補(bǔ)償
零點(diǎn)自動(dòng)校準(zhǔn)
5.大屏顯示,內(nèi)容豐富
LCD點(diǎn)陣屏,可顯示任意字符
支持中英文切換
6.支持多種氣體檢測(cè)
支持電化學(xué)、催化、光學(xué)等原理傳感器
可搭配熱裂解器實(shí)現(xiàn)NF3氣體檢測(cè)
7.參數(shù)可配,使用靈活
零點(diǎn)抑制、零點(diǎn)跟蹤可配置
報(bào)警閾值及延時(shí),報(bào)警屏蔽可配置
8.報(bào)警聯(lián)動(dòng),輸出控制
內(nèi)置ALM1、ALM2、故障3個(gè)繼電器
主要應(yīng)用
適用于半導(dǎo)體制造、液晶面板制造、光伏制造和電池制造等行業(yè)。是一款高精度、 高靈敏度的氣體檢測(cè)儀, 能夠準(zhǔn)確地檢測(cè)和監(jiān)測(cè)工廠中的有毒氣體、 、 腐蝕性氣體等。
技術(shù)指標(biāo)
檢測(cè)氣體 | 支持多達(dá)百種氣體(不斷擴(kuò)充中…) | 氣體報(bào)警指示 | ALM1指示燈亮紅色/ALM2指示燈亮紅色,屏幕指示ALARM1/ALARM2 |
檢測(cè)原理 | 電化學(xué)、催化、光學(xué) | 氣體報(bào)警動(dòng)作 | 自動(dòng)復(fù)位,記錄觸發(fā)和復(fù)位記錄 |
采樣方式 | 泵吸 | 氣體報(bào)警控制 | ALM1/ALM2繼電器動(dòng)作,常開(kāi)常閉可配置 |
流量 | 默認(rèn)0.5L/min±10%,可調(diào) | 故障報(bào)警類(lèi)型 | 流量故障/傳感器故障/通信故障 |
工作方式 | 連續(xù)監(jiān)測(cè) | 故障報(bào)警指示 | 故障指示燈亮黃色 |
響應(yīng)時(shí)間T90 | 電化學(xué) < 60s,催化 < 30s | 故障報(bào)警動(dòng)作 | 自動(dòng)復(fù)位,記錄觸發(fā)和復(fù)位記錄 |
示值誤差 | 不同氣體不同,詳見(jiàn)具體傳感器參數(shù) | 故障報(bào)警控制 | 故障繼電器動(dòng)作,常開(kāi)常閉可配置 |
檢測(cè)量程 | 不同氣體不同,詳見(jiàn)具體傳感器參數(shù) | 檢測(cè)儀功能 | 報(bào)警延時(shí)/零點(diǎn)抑制/零點(diǎn)跟蹤/靈敏度補(bǔ)償/實(shí)時(shí)流量/零點(diǎn)平移/跨度標(biāo)定/標(biāo)定記錄/報(bào)警記錄/事件記錄/ |
分辨率 | 不同氣體不同,詳見(jiàn)具體傳感器參數(shù) | 可擴(kuò)展熱裂解 | 是 |
氣體單位 | 不同氣體不同,詳見(jiàn)具體傳感器參數(shù) | 輸出信號(hào) | 4-20mA/以太網(wǎng) |
濃度顯示 | LCD點(diǎn)陣屏,分辨率200 x 140 | 安裝方式 | 壁掛 |
傳感器模組接口 | 數(shù)字接口 | 電源 | DC24V/POE |
指示燈 | 4顆(電源指示燈綠色、ALM1指示燈紅色、ALM2指示燈紅色、故障指示燈黃色) | 功耗 | 小于3.5W |
繼電器輸出控制 | 3路(ALM1報(bào)警、ALM2報(bào)警、故障) | 重量 | 約 750g |
繼電器容量 | AC125V、0.25A/DC24V、0.5A | …… | …… |
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